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氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩種類(lèi)型：變容真空泵利用泵腔容積的周期性變化來(lái)完成吸氣和排氣過(guò)程的一種真空泵，氣體在排出前被壓縮。

這種泵分為往復式及旋片式兩種：（1） 往復式真空泵：是利用泵腔內活塞做往復式運動(dòng)，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱(chēng)為活塞式真空泵。（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔內活塞做旋轉運動(dòng)，將氣體吸入、壓縮并排出

振動(dòng)頻率為60%-100%工作轉速，或者是密封間隙過(guò)大，護圈松動(dòng)，密封磨損處理方法：檢查、調整或更換密封；振動(dòng)頻率為2倍工作轉速,不對中，聯(lián)軸器松動(dòng)，密封裝置摩擦，殼體變形，軸承損壞，支承共振，推力軸承損壞，軸彎曲，不良的配合處理方法：檢查，采取相應措施，修理、調整或更換；

真空泵的注意事項1、首先應該充分了解被抽氣體成分。如氣體中含不含可凝蒸氣、有無(wú)顆?；覊m、有無(wú)腐蝕性、性等；如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。2、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對環(huán)境的影響如何，如果環(huán)境不允許有污染，可以選無(wú)油隔膜真空泵，或者把油蒸氣排到室外。3、真空設備或者零部件對油污染的要求，若設備嚴格要求無(wú)油時(shí)，應該選各種無(wú)油泵，如：化學(xué)隔膜泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等，若要求不嚴格，可以選擇有油泵，并且加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。4、如有多臺大型水環(huán)式真空泵同時(shí)工作，循環(huán)液應該進(jìn)行冷卻，否則影響真空度，冷卻裝置可以配備冷卻塔，同時(shí)須配增壓泵對管路加壓。5、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響，若環(huán)境不允許，應選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取減震措施。

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旋片式真空泵設備潤滑系統完好，潤滑油質(zhì)符合規定要求，并定期進(jìn)行檢查，換油。各種儀表（如真空表等）指示值正確，并定期進(jìn)行校驗；各閥門(mén)啟閉靈活、密封良好，無(wú)泄漏現象；管道無(wú)泄漏，并定期進(jìn)行檢查。電動(dòng)機配備合理，運行正常（溫升和聲響正常），電氣線(xiàn)路an全可靠，有接地保護措施，電氣裝置（控制柜）可靠，電氣儀表指示正確；安全防護裝置齊全可。設備及冷卻系統設施整潔，無(wú)銹蝕。水環(huán)式真空泵冷卻系統運行正常，冷卻裝置完好，排水溫度不超過(guò)規定要求，應有斷水保護裝置。

一般來(lái)說(shuō)所用的工作液都是水。礦用單軸振動(dòng)篩作用在轉子葉輪上的能量被液體接收并傳給被壓縮的氣體，這樣就造成了水環(huán)的溫度升高。水環(huán)的部分水與氣體一起壓縮排除泵外。在壓縮過(guò)程中產(chǎn)生的大部分熱量被帶走。因而需要不斷的補充新鮮的水，以使水環(huán)泵的工作溫度能夠維持恒定。

電子與微電子工業(yè)：微電子技術(shù)要求電子元器件和電路的尺寸越來(lái)越小，集成度要求越來(lái)越高。這與真空技術(shù)的應用密不可分，特別是超大規模集成電路的微細加工技術(shù)，其幾何圖形結構的形成、超薄層生長(cháng)技術(shù)、粒子束注入技術(shù)都需要高質(zhì)量、清潔的真空環(huán)境，可見(jiàn)其發(fā)展對真空技術(shù)、裝備的依存性。目前，日本真空廠(chǎng)商的銷(xiāo)售額中60%左右是面向電子工業(yè)，而當今的超大規模集成電路大約有３／４的工序需要有真空條件。

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真空泵故障如何解決？真空泵維修方法

1、電機燒壞：主要為電機定子線(xiàn)圈燒毀，引起原因較多，如瞬間電流過(guò)大，電機軸承使用久了被磨損，致使軸承摩擦阻力變大，電機功率加大，引起溫度上升，燒毀電機。這時(shí)應先檢查電機軸承，再檢查電機線(xiàn)圈。軸承損壞就更換軸承；電機線(xiàn)圈燒毀則應維修電機，重新繞制定子線(xiàn)圈。軸承和線(xiàn)圈損壞嚴重時(shí)，就需更換電機了。

渦輪增壓分子泵的維護保養

(1)渦輪增壓分子泵在工作中時(shí)因為電機轉葉高速運行，對其機殼要當心維護，干萬(wàn)不可以有外地人撞擊，不然會(huì )導致電機轉子同軸度偏移或滾動(dòng)軸承損傷等無(wú)法修補的常見(jiàn)故障。

(2)含油軸承或混和滾動(dòng)軸承的渦輪增壓分子泵各自每過(guò)2和四年就需要開(kāi)展給油或拆換潤滑油脂的維護保養工作中，那樣分子泵才可以穩定、靠譜地長(cháng)期性運作。

 旋片卡阻：主要表現為旋片與泵腔內表面的摩擦阻力過(guò)大，致使電機無(wú)法帶動(dòng)旋片。原因是旋片變形，轉子內的彈簧張開(kāi)后不能復位，或彈簧壓力和旋片自身離心力的合力過(guò)大，導致旋片與泵腔內表面的摩擦阻力過(guò)大。這時(shí)就應及時(shí)修復旋片和彈簧，若不能修復則應更換。

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